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(資料圖)

近日，微導納米交付的全球首條AEP?原子層沉積技術GW級TOPCon整線項目取得量產(chǎn)效率平均25%的突破性進展，為N型TOPCon電池產(chǎn)業(yè)化的進一步提速再添新動能，這也標志著光伏產(chǎn)業(yè)迎來了技術升級的關鍵時期。

對光伏創(chuàng)新技術的追求與堅持，讓微導納米始終身處行業(yè)新技術產(chǎn)業(yè)化應用的領先位置。早在2019年，微導納米創(chuàng)新研制出祝融系列管式PEALD系統(tǒng)，前瞻性地以AEP?(ALD Enabled Photovoltaics)技術為核心，提出了TOPCon電池的全新工藝路線。2021年4月，微導納米與尚德電力就2GW TOPCon整線項目簽訂合作協(xié)議，攜手打造全球首條GW級以原子層沉積技術為核心的TOPCon整線，可兼容182 mm及210 mm硅片電池。

微導納米九大步驟、四大類設備，助力提供高效電池TOPCon技術量產(chǎn)的完美解決方案。針對TOPCon電池正面鈍化層、背面隧穿層和原位摻雜多晶硅層等關鍵薄膜工藝技術，微導納米采用市場占有率領先的高產(chǎn)能批量型熱ALD設備，搭載行業(yè)創(chuàng)新的PEALD二合一技術(能夠在同一臺設備中完成兩種薄膜的制備)，除了能提高薄膜質(zhì)量以提供更好的鈍化效果之外，還有效降低了設備投資與生產(chǎn)成本。

目前，TOPCon已成為量產(chǎn)電池工藝中轉換效率最高、成本最經(jīng)濟的高效光伏電池工藝之一，各大光伏頭部企業(yè)爭相布局，而ALD技術正是實現(xiàn)高效電池TOPCon轉換效率突破的核心技術。“時間證明選擇”，從首臺設備入廠到近日突破25%的平均量產(chǎn)效率，并達到日產(chǎn)能30萬片以上，彰顯了微導的創(chuàng)新實力。能交出這樣一份亮眼的產(chǎn)線驗證“成績單” ，被行業(yè)與市場所關注，背后是微導團隊與客戶精誠合作、迎難而上，經(jīng)歷了無數(shù)個技術攻關的晝夜，更是前期對TOPCon技術研發(fā)及生產(chǎn)工藝的豐富積累，為此次實現(xiàn)先進電池技術的提升與超越奠定了堅實的基礎。