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PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關(guān)鍵工藝，而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設(shè)備載體之一。

真空腔體是指保證內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器設(shè)備，當(dāng)前在技術(shù)工藝要求不斷升級背景下，多數(shù)先進(jìn)工藝均需在真空或惰性氣體保護(hù)條件下完成，因此，真空腔體應(yīng)運(yùn)而生，成為保證多種工藝順利實(shí)施的關(guān)鍵設(shè)備。

PECVD真空腔體則是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積(PECVD)技術(shù)工藝中所需真空腔體的總稱。根據(jù)用途不同，PECVD真空腔體可分為PECVD真空工藝腔體與PECVD真空傳送腔體兩大類；根據(jù)材質(zhì)不同，PECVD真空腔體可分為不銹鋼、鋁合金、鈦合金真空腔體等。

等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積(PECVD)是化學(xué)氣相淀積技術(shù)的一種，是指在低氣壓條件下，利用低溫等離子體在真空腔體的陰極上產(chǎn)生輝光放電，通過輝光放電使樣品升溫，再與氣體發(fā)生反應(yīng)下，使樣品表面形成固態(tài)薄膜的過程。PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關(guān)鍵工藝，而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設(shè)備載體之一。當(dāng)前在下游薄膜光伏電池市場快速發(fā)展帶動(dòng)下，PECVD真空腔體行業(yè)迎來發(fā)展新機(jī)遇。

PECVD工藝在異質(zhì)結(jié)(HJT)光伏電池中應(yīng)用占比較大。HJT電池是光伏電池行業(yè)中具有顛覆性技術(shù)的新型電池，當(dāng)前在光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展背景下，其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程正不斷加快。目前已有愛康科技、寶馨科技、東方日升等多家企業(yè)布局HJT電池項(xiàng)目，2022年國內(nèi)HJT電池?cái)U(kuò)產(chǎn)規(guī)模在20-30GW。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2023-2028年P(guān)ECVD真空腔體行業(yè)市場深度調(diào)研及投資前景預(yù)測分析報(bào)告》顯示，未來隨著HJT電池加速擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)計(jì)到2025年，我國PECVD真空腔體市場規(guī)模有望達(dá)到7.9億元，2023-2025年規(guī)模復(fù)合年增長率將超過100%。

PECVD真空腔體屬于大型鑄件之一，目前國內(nèi)具備量產(chǎn)能力的企業(yè)主要包括明志科技、日揚(yáng)科技、神商精密器材、帕薩電子裝備等。現(xiàn)階段，我國HJT電池尚未實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，因此，作為其配套裝備的PECVD真空腔體行業(yè)仍處于初步發(fā)展階段，布局企業(yè)數(shù)量較少。

新思界產(chǎn)業(yè)分析人士表示，異質(zhì)結(jié)(HJT)電池是一種高效晶硅太陽能電池結(jié)構(gòu)，是一類極具發(fā)展?jié)摿Φ奶柲茈姵兀?dāng)前在其優(yōu)勢不斷凸顯背景下，其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程正不斷加速。而PECVD真空腔體作為HJT電池核心生產(chǎn)工藝PECVD的關(guān)鍵設(shè)備載體，市場需求得以不斷增加。但目前國內(nèi)PECVD真空腔體行業(yè)仍處于初步發(fā)展階段，未來還有巨大成長空間。

原文標(biāo)題:【洞察】PECVD真空腔體是HJT電池生產(chǎn)所需關(guān)鍵設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景廣闊